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高纯硅纯度标准物质
Purity of High Pure Silicon
本标准物质是以天然硅为原料,主要用于高纯硅的纯度分析校正,检验纯度分析方法的可靠性, 保证硅标准物质溶液制备原料纯度的可靠性和溯源性,用以提高硅标准物质溶液浓度定值和硅含量分析的技术水平,满足化学计量和高纯硅纯度分析等领域的需求。
选取杂质分布均匀的高纯天然硅片,均匀性初检合格后用洁净、带盖的塑料盒分装。
定值前,样品按规定步骤进行清洗,再进行称量。采用辉光放电质谱法(GDMS)、惰性气体熔融-红外热导法、燃烧红外法等多种方法对其中的 94 种杂质含量进行测量,重量扣除后得到硅的化学纯度。方法的准确度通过国际比对 CCQM-P149(锌纯度测定)进行了验证,并通过使用满足计量学特性要求的测量方法和计量器具,保证标准物质特性量值的溯源性。
硅纯度认定值的不确定度评定涵盖了全部测量流程,包括校正样品、称重、空白、所使用标准物质等方面引入的不确定度,以及该标准物质的不均匀性和不稳定性引入的不确定度。
硅化学纯度量值为:(99.9995 ± 0.000003)%,k=2;硅中杂质元素含量(参考值)见附表。
按照 JJF1343-2012《标准物质定值的通用原则及统计学原理》要求,对该标准物质随机抽样进行均匀性检验和稳定性监测。用 F 检验法进行样品的均匀性检验;用平均值一致性检验法进行样品的稳定性检验。检验中使用与定值方法相同的测量方法进行铜纯度的测量,最小样品取样量为 0.2 g。
检验结果表明该标准物质均匀性和稳定性良好。该标准物质自定值日期起,有效期为 5 年,研制单位将持续跟踪监测该标准物质的稳定性,如发现量值变化,将及时通知用户。
本标准物质的包装为塑料盒,每盒一片(f 40 mm´4 mm),室温保存。样品使用前需进行清洗, 具体步骤为:1.用甲醇超声清洗 3 分钟,用纯水清洗 4 次,用混合酸(硝酸+氢氟酸:1+6)超声清洗 2.5 分钟,用纯水清洗 4 次,用纯水超声清洗 3 次,每次 1 分钟;用甲醇清洗 2 次,凉干待用。
声明
1.本标准物质仅供实验室研究与分析测试工作使用。因用户使用或储存不当所引起的投诉,不予承担责任。
2.收到后请立即核对品种、数量和包装,相关赔偿只限于标准物质本身,不涉及其他任何损失。
3.仅对加盖“中国计量科学研究院标准物质专用章”的完整证书负责。请妥善保管此证书。
4.如需获得更多与应用有关的信息,请与技术咨询部门联系。
附表 高纯硅中杂质元素含量参考值(mg/kg)
元素 |
测量方法 |
量值 |
u |
元素 |
测量方法 |
量值 |
u |
元素 |
测量方法 |
量值 |
u |
H |
2 |
< 0.09 |
0.05 |
Se |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Tb |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
He |
4 |
< 0.001 |
0.0005 |
Br |
1 |
0.003 |
0.006 |
Dy |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Li |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Kr |
4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ho |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Be |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Rb |
1 |
0.004 |
0.008 |
Er |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
B |
1 |
0.002 |
0.004 |
Sr |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Tm |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
C |
3 |
2.21 |
0.94 |
Y |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Yb |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
N |
2 |
< 0.86 |
0.43 |
Zr |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Lu |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
O |
2 |
1.49 |
0.29 |
Nb |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Hf |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
F |
1 |
0.008 |
0.016 |
Mo |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ta |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ne |
4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Tc |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
W |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Na |
1 |
0.027 |
0.054 |
Ru |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Re |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Mg |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Rh |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Os |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Al |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Pd |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ir |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
P |
1 |
0.002 |
0.004 |
Ag |
1 |
0.003 |
0.006 |
Pt |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
S |
3 |
< 1.5 |
0.75 |
Cd |
1 |
0.002 |
0.004 |
Au |
1 |
0.003 |
0.006 |
Cl |
1 |
0.080 |
0.16 |
In |
1 |
0.002 |
0.004 |
Hg |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
A r |
4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Sn |
1 |
0.002 |
0.004 |
Tl |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
K |
1 |
0.013 |
0.026 |
Sb |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Pb |
1 |
0.001 |
0.002 |
Ca |
1 |
0.008 |
0.016 |
Te |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Bi |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Sc |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
I |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Po |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ti |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Xe |
4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
At |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
V |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Cs |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Rn |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Cr |
1 |
0.002 |
0.004 |
Ba |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Fr |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Mn |
1 |
0.003 |
0.006 |
La |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ra |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Fe |
1 |
0.006 |
0.012 |
Ce |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ac |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Co |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Pr |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Th |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ni |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Nd |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Pa |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Cu |
1 |
0.017 |
0.034 |
Pm |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
U |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Zn |
1 |
0.021 |
0.042 |
Sm |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Np |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ga |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Eu |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Pu |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Ge |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Gd |
1 |
< 0.0010 |
0.0005 |
Am |
1,4 |
< 0.0010 |
0.0005 |
As |
1 |
0.013 |
0.026 |
|
|
|
|
|
|
|
|
注:1:辉光放电质谱法 GDMS 2:惰性气体熔融-红外热导法
3:燃烧红外法
4:估算法
注:以上信息仅供参考,以产品附带证书为准。
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